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国家千人特聘专家复旦大学陈宜方教授来我校学术交流
日期:2014-12-4  浏览:325次
  12月3日,国家千人特聘专家复旦大学微纳科技平台副主任陈宜方教授应科学研究院邀请,来我校开展学术交流,并在校会议中心作题为“电子束光刻及其在纳米科技上的应用”的精彩报告。

  陈宜方教授于2012年获聘国家千人特聘专家,担任复旦大学985微纳科技平台担任副主任(负责信息学院的纳米科技发展)。归国前,他是英国卢瑟福-阿普尔顿实验室(Rutherford Appleton Laboratory)微纳技术中心(Micro and Nanotechnology Centre) 纳米技术首席科学家(Principal Scientist),负责该中心的纳米技术与纳米科学的研发,同时还是瑞士洛桑理工大学的客座教授和英国国家物理实验室(National Physical Laboratory)高级客座研究员。

  报告中,陈宜方教授介绍了微电子加工工艺及其在光电器件中的应用。他展示了电子束光刻技术开发的多种纳米电子器件,包括量子输运器件(QT Device)、单电子晶体管(SETs)和高电子迁移率晶体管(HEMTs)等;还介绍了基于纳米压印刻蚀工艺的纳米光子学器件,包括偏振光栅、超分辨远场光学成像器件等。

  陈宜方教授的报告详实生动,充分展示了微电子加工工艺的魅力和应用价值。会后,参会教师和学生与陈教授开展了热烈的讨论和交流。
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